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第二十章 真空镀膜(上)

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    许秋找到陈婉清,请教接下来的实验操作。

    学姐拿出实验记录本,一边写写画画,一边讲解教学:

    “我们最终要得到的是多层结构的太阳能电池器件,比如现在做的这个体系,正结构就是Glass/ITO/PEDOT:PSS/P3HT:PC[60]BM:PC[70]BM/Ca/Al。

    共有六层结构,层与层之间用“/”分隔,“:”则表示该层是由两种或以上物质共混。

    那么,你这几天来做的工作就是:

    首先,清洗具有ITO图案的玻璃基片,得到Glass/ITO部分;

    然后,旋涂PEDOT:PSS溶液和有效层,得到PEDOT:PSS/P3HT:PC[60]BM:PC[70]BM部分;

    最后一步,也就是接下来要做的,是采用真空镀膜方法,将钙和铝蒸镀至基片上,得到Ca/Al部分。

    真空镀膜法,原理是在真空条件下,加热靶材,使之气化,最后由靶材形成的气态分子会在舱体内运动,最终均匀沉积在样品表面,形成薄膜。

    真空度越高,气体分子平均自由程越长。

    只有当舱体内气压低于一定阈值,才可以进行蒸镀。

    我们采用的加热方法有两种,一种是束源炉加热,另一种是钨丝加热。

    蒸镀的操作比较繁琐,有很多细节需要注意,所以我来亲自指导你。”

    “好的,学姐。”许秋道。

    …………

    两人做好防护,进入实验室。

    许秋先将旋涂好的基片,从旋涂手套箱中拿出,然后迅速转移至装有蒸镀装置的手套箱中。

    这个手套箱外接有三只橡胶手套,所以同时只能进入一个人。

    于是,许秋进入,学姐则在外面看着,并为他解惑。

    箱体内主要有两台大型设备,左边的是蒸镀装置。

    蒸镀舱的舱体是由厚重的钢板所制,舱门用轨道连接在舱体上。

    许秋将舱门朝右边推开,推着还蛮沉的。

    他好奇道:“学姐,这套设备也不便宜吧。”

    陈婉清:“整套设备差不多20万吧,包括蒸镀舱、分子泵、循环水、总控制台,是找沈羊一家专门做真空设备的公司订做的。他们公司离这边比较远,所以弄坏的话修起来也麻烦,上次循环水出了故障,他们过来修,路费就要了五千。”

    许秋:“学姐怎么知道的这么清楚?”

    陈婉清:“因为学校要统计实验室的固定资产,价格超过1000元的都要统计上报。实验室虽然是魏老师管,但所有权是归国家的,因为申请的科研经费是国家出的。除非是老板自掏腰包或者企业出钱,那就另说。”

    许秋点点头,开始打量舱体内部。

    下面有四个圆柱体形状的炉子,应该是束源炉。

    四个束源炉旁边有两个金属平台,每个平台上面都有一块金属板,大概六厘米长,三厘米宽,一厘米厚,金属板通过六角螺丝与平台连接,中间有一定的缝隙。

    “学姐,这个是干什么用的?”许秋指着平台问道。

    “这个是电流加热装置,将用钨丝制成的篓,放在两个平台间,用金属板压住钨篓两端,通电流对钨篓加热,可达到很高的温度,使其内部靶材气化,进行蒸镀。”陈婉清道。

    许秋继续看向舱体,中间部分有一探头状的物体,像个吊... -->>
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